集成電路潔凈廠(chǎng)房是為了滿(mǎn)足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室，該潔凈室對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動(dòng)、ESD (靜電控制)、AMC(氣態(tài)分子級(jí)污染物)控制等都有一定的要求。相對(duì)于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造潔凈室有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。一、FFU系統(tǒng)已成主流方案根據(jù)潔凈室空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類(lèi)型：循環(huán)空調(diào)機(jī)配合高效送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU(風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元)循環(huán)系統(tǒng)。第一種形式在小規(guī)模低等級(jí)要求的潔凈室設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用，對(duì)于大面積高等級(jí)的...
IC 生產(chǎn)由于其工藝加工線(xiàn)寬極小，所以對(duì)溫濕度的精度要求很高，通常溫度精度為土0.3~±0.5℃，相對(duì)濕度精度為±2%~±3%。該類(lèi)廠(chǎng)房潔凈室一般采用新風(fēng)集中處理加FFU系統(tǒng)，在下夾層或.上靜壓箱內(nèi)設(shè)干表冷器。潔凈室內(nèi)的相對(duì)濕度由新風(fēng)機(jī)組保證，溫度由干表冷器保證。一、新風(fēng)處理及相對(duì)濕度保證新風(fēng)處理機(jī)組中設(shè)置初、中、高效三級(jí)過(guò)濾，以去除室外空氣中的灰塵粒子，設(shè)高效過(guò)濾器很有必要，可以延長(zhǎng)潔凈室頂部FFU內(nèi)ULPA過(guò)濾器的使用壽命；設(shè)置化學(xué)過(guò)濾器主要...
一、安全保證措施1.在項(xiàng)目經(jīng)理領(lǐng)導(dǎo)下，以施工現(xiàn)場(chǎng)專(zhuān)職安全員為首，組織各施工隊(duì)、組，各工種的兼職安全員，成立現(xiàn)場(chǎng)安全管理小組，負(fù)責(zé)全工地的安全生產(chǎn)的教育、指導(dǎo)、監(jiān)督和管理2.加強(qiáng)對(duì)職工的安全思想教育，提高職工“安全第一、預(yù)防為主”的方針的認(rèn)識(shí)，讓每個(gè)職工懂得安全生產(chǎn)“人人有責(zé)”。組織現(xiàn)場(chǎng)職工學(xué)習(xí)，貫徹建筑安裝安全技術(shù)操作規(guī)程，對(duì)不同工種分別學(xué)習(xí)有關(guān)安全規(guī)程，堅(jiān)決貫徹執(zhí)行3.嚴(yán)格貫徹中華人民共和國(guó)建筑法第四十六條的規(guī)定“未經(jīng)安全生產(chǎn)教育培訓(xùn)的人員，不得上崗作業(yè)”。與每個(gè)職工簽訂安...
一、相關(guān)設(shè)計(jì)及規(guī)范要求(1)進(jìn)入施工現(xiàn)場(chǎng)的所有設(shè)備、主要材料及配件都應(yīng)有產(chǎn)品合格證或質(zhì)保書(shū)，設(shè)備應(yīng)有銘牌，不合格的嚴(yán)禁進(jìn)場(chǎng)使用(2)各類(lèi)吊、支托架、管道、風(fēng)管法蘭等需防腐處理的金屬件在安裝前應(yīng)嚴(yán)格除銹并刷防銹漆(埋地應(yīng)刷兩度防銹漆)，竣工前應(yīng)刷面漆，各類(lèi)管道的色標(biāo)應(yīng)按設(shè)計(jì)或規(guī)范要求執(zhí)行，并在主干管上標(biāo)有流向標(biāo)記(3)室內(nèi)給水支管(管徑20及以下)的安裝，管道在轉(zhuǎn)角、水表水龍頭或角閥及管道終端100mm處應(yīng)設(shè)管卡，管卡必須安裝牢固，水管管徑在40及以上的，應(yīng)采用U型鋼、U字螺栓...
一、支、吊架制作安裝管道的支、吊架制作時(shí)應(yīng)根據(jù)圖紙?jiān)O(shè)計(jì)的要求進(jìn)行。管道活動(dòng)支、吊架的具體形式和設(shè)置位置根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況確定。安裝前，先定位放線(xiàn)，根據(jù)設(shè)計(jì)要求及規(guī)范選用支、吊架材料。管道支、吊架設(shè)置于保溫層外部，在穿過(guò)支、吊架處應(yīng)鑲以墊木。支吊架制作、組對(duì)時(shí)先點(diǎn)焊，檢查合格后方可正式焊接，使支、吊架的型式、材質(zhì)、加工尺寸及焊接符合規(guī)范要求，制作完成后及時(shí)進(jìn)行防銹處理。安裝時(shí)應(yīng)根據(jù)設(shè)計(jì)要求進(jìn)行放線(xiàn)并合理布置支架的安裝和受力部件必須符合有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。支吊架應(yīng)牢固緊密的固定在墻、柱...
施工工序：通風(fēng)技術(shù)、物資準(zhǔn)備→圖紙交底→洞、孔預(yù)埋→風(fēng)管制作→管道安裝→設(shè)備安裝→設(shè)備調(diào)試→風(fēng)量平衡測(cè)試→系統(tǒng)調(diào)試交驗(yàn)一、相關(guān)設(shè)計(jì)及規(guī)范要求(1)空調(diào)通風(fēng)管道的鍍鋅鋼板厚度按照現(xiàn)行規(guī)范執(zhí)行。風(fēng)管的彎曲半徑為0.5A(A為轉(zhuǎn)彎邊邊長(zhǎng))；(2)風(fēng)管的三通或四通可采用三、四通管式或馬鞍管式，具體情況視現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況而定；(3)空調(diào)風(fēng)管法蘭制作采用熱軋等邊角鋼。角鋼法蘭制作時(shí)，應(yīng)在平臺(tái)設(shè)置卡具，使成型法蘭表面平整度誤差≯2mm，對(duì)角線(xiàn)誤差≯2mm。圓形法蘭任意正交兩直徑之差≯2mm；(...
施工工序：電氣技術(shù)、物資準(zhǔn)備→圖紙交底→管路預(yù)埋→配電柜(箱)安裝→橋架、保護(hù)管敷設(shè)→電線(xiàn)電纜、母線(xiàn)敷設(shè)→燈具、器具安裝→設(shè)備、器具安裝→送電、單體調(diào)試→系統(tǒng)調(diào)試交驗(yàn)一、防雷接地系統(tǒng)該工程利用基礎(chǔ)鋼筋作接地體，基礎(chǔ)內(nèi)不少于2根主筋焊接連通形成環(huán)網(wǎng)，并與樁內(nèi)鋼筋連接。屋面防雷裝置通過(guò)引下線(xiàn)(柱內(nèi)主筋)與基礎(chǔ)接地網(wǎng)連通。配電間設(shè)總等電位端子箱MEB，由—25*4鍍鋅扁鋼從接地網(wǎng)引至。(1)接地體(線(xiàn))的連接應(yīng)采用搭焊接，其長(zhǎng)度必須滿(mǎn)足：扁鐵寬度為2倍(至少三個(gè)棱邊焊接)；圓鋼直徑...
隨著電子技術(shù)的發(fā)展，電子產(chǎn)品越來(lái)越多地應(yīng)用于各類(lèi)生產(chǎn)生活領(lǐng)域。與之相適應(yīng)，電子生產(chǎn)廠(chǎng)房的修建也與日俱增。其中的接地技術(shù)較常規(guī)的建筑接地種類(lèi)繁多，涉及面廣。接地系統(tǒng)根據(jù)用途具體可分為電源系統(tǒng)接地、電氣保護(hù)接地、防靜電接地、信息系統(tǒng)的接地、電子設(shè)備接地、防雷接地幾個(gè)種類(lèi)。1、電源系統(tǒng)接地在某電子廠(chǎng)房設(shè)計(jì)中使用TN-S系統(tǒng)。變壓器中性點(diǎn)接地，系統(tǒng)的保護(hù)線(xiàn)與中性線(xiàn)完全分開(kāi)，這種方式對(duì)供電、保護(hù)、經(jīng)濟(jì)合理性等均十分有利，其選擇原則與常規(guī)建筑一致。對(duì)于傳達(dá)室等距離主體建筑較遠(yuǎn)的零星建筑單...
一、微電子廠(chǎng)房特點(diǎn)隨著科技技術(shù)的發(fā)展，電子產(chǎn)品生產(chǎn)日新月異，以微電子產(chǎn)品為代表的各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)發(fā)展迅速?，F(xiàn)代電子產(chǎn)品要求微型化、精密化高純度、高質(zhì)量和高可靠性，以人們熟悉的手機(jī)、筆記本電腦為例，它所使用的集成電路電子元器件以及其組裝的生產(chǎn)過(guò)程都要求在受控環(huán)境條件下進(jìn)行操作。根據(jù)生產(chǎn)要求對(duì)室內(nèi)空氣的潔凈度、溫度、相對(duì)濕度以及壓力、噪聲、振動(dòng)、靜電等參數(shù)進(jìn)行控制的生產(chǎn)廠(chǎng)房。微電子廠(chǎng)房與其他工業(yè)廠(chǎng)房相比，空氣潔凈度等級(jí)高氣流方式大部分為單向流、送風(fēng)量大、室內(nèi)溫濕度要求高、噪聲...
一、凈化空調(diào)設(shè)備安裝施工質(zhì)量驗(yàn)收的通用要求。1齊全的隨機(jī)文件，既代表了產(chǎn)品的內(nèi)涵質(zhì)量，又是安裝、運(yùn)行的依據(jù)，相關(guān)各方均應(yīng)十分重視。2設(shè)備的開(kāi)箱檢查、驗(yàn)收是設(shè)備交接、安裝的重要環(huán)節(jié)，應(yīng)根據(jù)具體工程情況確定由建設(shè)方和有關(guān)方共同進(jìn)行，并認(rèn)真做好開(kāi)箱、驗(yàn)收記錄。3設(shè)備的搬運(yùn)、吊裝、就位是設(shè)備安裝中十分重要的環(huán)節(jié),特別是大型、特殊結(jié)構(gòu)的凈化空調(diào)設(shè)備，規(guī)范規(guī)定中強(qiáng)調(diào)：①應(yīng)符合產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)要求，做好相關(guān)保護(hù)工作，防止設(shè)備損壞，這是確保設(shè)備安全搬運(yùn)、吊裝、就位和在此過(guò)程人身安全的基本要求；②應(yīng)...